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    “中國芯”關鍵材料國產化

    六氟化硫(SF?)
    • 中文名:六氟化硫
    • 英文名:Sulfur hexafluoride
    • CAS號:2551-62-4
    • 熔點:-50.8℃
    • 沸點:-63.8℃
    • 蒸氣壓:21.5atm
    • 產品等級:電子級:5N 工業級:4.5N、5N
    • 電子級:47L(50kg)、440L(500kg)、880L(1100kg) 工業級:6L(8kg)、8L(10kg)、10L(12kg)、12L(15kg)、15L、40L(50kg)、47L(50kg)
    三氟化氮(NF?)
    • 中文名:三氟化氮
    • 英文名:Nitrogen trifluoride
    • CAS號:7783-54-2
    • 熔點:-208.5℃
    • 沸點:-129℃
    • 蒸氣壓:>1atm
    • 產品等級:4.6N
    • 規格 :47L(20kg)、440L(200kg)、bundle(320kg)、8800L(4000kg)、13200(6000kg)、18800L(8000kg)
    磷烷安全源(PH?)
    • 中文名:磷烷安全源
    • 英文名:Phosphine AGS
    • CAS號:7803-51-2
    • 熔點:-133℃
    • 沸點:-87.7℃
    • 蒸氣壓:53.32kpa(-98.3℃)
    • 產品等級:5N7
    • 規格:0.44L、2.2L、3.0L、6.6L
    砷化氫(AsH?)
    • 中文名:砷化氫
    • 英文名:Arsine
    • CAS號:07784-42-1
    • 熔點:-116℃
    • 沸點:-62.5℃
    • 蒸氣壓:1463kPa(20℃)
    • 產品等級:6N、6N5
    • 規格:40L
    三氟化硼安全源(BF?)
    • 中文名:三氟化硼安全源
    • 英文名:Boron Trifluoride AGS
    • CAS號:07784-42-1
    • 熔點:-126.8℃
    • 沸點:-100℃
    • 蒸氣壓:1013.25kPa(-58℃)
    • 產品等級:3N
    • 規格:0.44L、2.2L、3.0L、6.6L
    磷化氫(PH?)
    • 中文名:磷化氫
    • 英文名:Phosphine
    • CAS號:7803-51-2
    • 熔點:-133℃
    • 沸點:-87.7℃
    • 蒸氣壓:53.32kpa(-98.3℃)
    • 產品等級:6N、6N5
    • 規格:44L
    安全源砷烷(AsH?)
    • 中文名:砷烷安全源
    • 英文名:Arsine AGS
    • CAS號:07784-42-1
    • 熔點:-116℃
    • 沸點:-62.5℃
    • 蒸氣壓:1463kPa(20℃)
    • 產品等級:5N5
    • 規格:0.44L、2.2L、3.0L、6.6L
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